sem掃描電鏡維護(hù)保養(yǎng)的內(nèi)容的介紹(二)
日期:2023-03-08 09:11:13 瀏覽次數(shù):91
電子光學(xué)系統(tǒng)清洗的一般原則:
掃描電鏡電子光學(xué)鏡筒的某些部位可能會觀察到有不同程度的污染跡象,例如電子槍亮度減低,電子透鏡的象散加大,這需要操作者判斷污染的部位和程度。拆卸這些部位,朝向電子束的任何表面可能都需要一次或多次清洗和拋光。清潔的電鏡,電子束亮度zgao,圖象信噪比較好,象散較小,象散器位置接近零位。
四、鏡筒襯管的維護(hù)和清洗
使用專用工具拆卸和清洗SEM掃描電鏡鏡筒襯管,清洗前準(zhǔn)備好鏡筒襯管清洗棒、金屬鏡筒襯管拆卸工具和鏡筒襯管光闌拆卸工具。
重裝鏡筒襯管光闌:使用無毛布或無毛手套。注意:在重新安裝光闌組件與安裝鏡筒襯管之前,仔細(xì)檢查清洗過的部件,不應(yīng)留有有機(jī)物殘渣。只能用小鑷子來夾光闌。
光闌放在光闌帽內(nèi),當(dāng)組件z終安裝在襯管內(nèi)后光闌的較平滑一面應(yīng)朝上,擰上光闌帽。
五、二次電子探測器維護(hù)
電子探測器維護(hù)包括三個主要組成部分,它們需要階段維護(hù)。它們包括閃爍體本身、閃爍體固定圈和柵網(wǎng)。由于閃爍體經(jīng)過二次電子長時間的轟擊,會造成閃爍體表面污染,為此會造成閃爍體產(chǎn)生電荷積累而發(fā)生放電現(xiàn)象以及閃爍體發(fā)光效率降低,使圖象的信噪比下降。
在觀察圖象時可以觀察到掃描電鏡探測器的放電現(xiàn)象,在光柵掃描期間形成“脈沖閃爍”或“斑點(diǎn)”,有時即使在電子束關(guān)閉狀態(tài)時也可在普通操作對比度下觀察到這種放電現(xiàn)象。這些周期性出現(xiàn)的閃爍要與由于低信噪比引起的統(tǒng)計噪音和由于高對比度設(shè)置產(chǎn)生的光電倍增噪音區(qū)別開。當(dāng)信號電平、信號質(zhì)量及分辨率下降非常明顯時,就應(yīng)更換閃爍體了。
六、真空系統(tǒng)維護(hù)
SEM掃描電鏡物鏡光闌桿、樣品室門和發(fā)射室的“o”型圈暴露后應(yīng)拆下清洗。只需要在樣品室門打開時檢查一下,如果沾有毛絨或灰塵只要簡單地用酒精沾濕的無毛布擦拭整個“o”型圈即可。物鏡光闌桿上的“o”型圈每次清洗后都需要涂抹很少量的硅樹脂真空脂,應(yīng)盡可能少量使用,不能涂多。
七、隔振和減震系統(tǒng)的維護(hù)
振動來源于外界和并且有賴于系統(tǒng)內(nèi)部的穩(wěn)定性。掃描電鏡系統(tǒng)抗振能力包括主動避振能力和被動避振能力。因此對減振避震系統(tǒng)的充分了解有利于提高維護(hù)意識。
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