SEM掃描電鏡與透射電鏡之分析信號(hào)的不同
日期:2023-02-23 09:23:48 瀏覽次數(shù):93
分析信號(hào)
掃描電鏡
掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí),被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí),也可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng)(聲子)、電子振蕩(等離子體)。原則上講,利用電子和物質(zhì)的相互作用,可以獲取被測(cè)樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息,如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場(chǎng)或磁場(chǎng)等等。掃描電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理,采用不同的信息檢測(cè)器,使選擇檢測(cè)得以實(shí)現(xiàn)。如對(duì)二次電子、背散射電子的采集,可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息;對(duì)X射線的采集,可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。
透射電鏡
根據(jù)德布羅意(De Broglie,20世紀(jì)法國(guó)科學(xué)家)提出的運(yùn)動(dòng)的微觀粒子具有波粒二象性的觀點(diǎn),電子束流也具有波動(dòng)性,而且電子波的波長(zhǎng)比可見光要短得多(例如200千伏加速電壓下電子波波長(zhǎng)為0.00251納米),顯然,如果用電子束作光源制成的顯微鏡將具有比光學(xué)顯微鏡高得多的分辨能力。更重要的是,由于電子在電場(chǎng)中會(huì)受到電場(chǎng)力運(yùn)動(dòng),以及運(yùn)動(dòng)的電子在磁場(chǎng)中會(huì)受到洛倫茲力的作用而發(fā)生偏轉(zhuǎn),這使得使用科學(xué)手段使電子束聚焦和成像成為可能。
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