SEM掃描電鏡測(cè)試的原理與樣品制備
日期:2024-04-03 10:12:35 瀏覽次數(shù):42
SEM掃描電鏡測(cè)試的原理主要基于電子與物質(zhì)之間的相互作用。當(dāng)高能電子束轟擊樣品表面時(shí),電子與樣品中的原子發(fā)生碰撞,產(chǎn)生多種信號(hào),如二次電子、背散射電子等。這些信號(hào)被探測(cè)器捕獲并轉(zhuǎn)換成電信號(hào),進(jìn)而在顯示器上形成樣品的圖像。由于電子的波長遠(yuǎn)小于可見光,因此SEM具有更高的分辨率,能夠觀察到更細(xì)微的結(jié)構(gòu)。
在SEM測(cè)試中,樣品的制備至關(guān)重要。制備過程主要根據(jù)樣品的類型和觀察目的來確定。對(duì)于塊狀樣品,如金屬或陶瓷,通常使用導(dǎo)電膠帶或液體導(dǎo)電膠將其固定在樣品臺(tái)上。粉末樣品可以撒在導(dǎo)電膠帶上或直接粘在樣品臺(tái)上。對(duì)于需要觀察截面的樣品,可能需要采用聚焦離子束(FIB)或機(jī)械研磨-拋光的方法進(jìn)行制備。對(duì)于生物樣品,如細(xì)胞或組織,制備過程則更為復(fù)雜,需要保持其天然狀態(tài),可能涉及臨界點(diǎn)干燥、冷凍固定、離子替換等步驟。
在制備過程中,還需注意一些關(guān)鍵因素。首先,大多數(shù)生物樣品和濕態(tài)樣品都需要進(jìn)行干燥處理,以防止樣品在電鏡觀察中變形或損壞。其次,樣品B須不含揮發(fā)物和污染物,以確保設(shè)備部件不受污染,提高成像信號(hào)的質(zhì)量和探測(cè)器效率。此外,樣品的尺寸和導(dǎo)電性也是需要考慮的因素。對(duì)于導(dǎo)電性差的樣品,可能需要進(jìn)行鍍膜處理以提高其導(dǎo)電性。
總的來說,SEM掃描電鏡測(cè)試的原理基于電子與物質(zhì)相互作用產(chǎn)生的信號(hào),而樣品制備則是獲取高質(zhì)量、準(zhǔn)確圖像的關(guān)鍵步驟。通過合理的樣品制備,可以確保SEM測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
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