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SEM掃描電鏡光闌的應(yīng)用有哪些呢?

日期:2023-02-28 08:49:15 瀏覽次數(shù):213

掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進行微觀成像。

SEM掃描電鏡光闌簡介

光闌是光學(xué)成像系統(tǒng)關(guān)機零件,在相機和顯微鏡中普遍使用,一般稱作光圈。如果對光圈的概念不了解,說明對光學(xué)成像儀器裝置還沒入門。光闌要在多級透鏡組的軸線上,光闌ZX務(wù)必與透鏡軸心保持機械同心。掃描電鏡的電子透鏡系統(tǒng)也要使用光闌,并且光闌孔的尺寸可調(diào)。

掃描電鏡.jpg

掃描電鏡光闌的作用:

1、過濾電子束中的遠軸電子,減小電子透鏡球差影響。

2、改變孔徑角度,從而調(diào)節(jié)圖像景深,并且減小電子透鏡色差影響。

SEM掃描電鏡光闌是消耗品:

一般光學(xué)儀器光闌設(shè)計是性的,即使是活動光闌,其壽命也是和機器終身壽命一致的。掃描電鏡光闌不同,光闌材料采用鉑金或者鉬金,由于電子束具有很高能量,具有破壞力,并且光闌污染后需要高溫灼燒(500-800),尤其高溫灼燒,對光闌的損傷是Z的。對因此光闌的壽命相對于掃描電鏡壽命顯得非常短。一般正常使用壽命為一年。