sem掃描電鏡如何準備測試樣品?
日期:2022-12-13 11:14:47 瀏覽次數:166
掃描電鏡是一種平面形貌表征測試技術,具備一定的三維方向上的表征能力,但受限于電子探針的檢測深度有限,在垂直于視場方向上景深一般不超過1μm,結合sem掃描電鏡的測試原理,對于樣品的要求主要有如下兩點:
1.樣品表面起伏不大;
2.樣品表面導電。
這就確定了制樣的基本原則:
1、對于宏觀粉末樣品,直接平鋪分散到導電膠上即可;
2、對于塊狀樣品,則需要將待觀察面朝上,且待觀察面需要與樣平臺面保持平行,固定于樣平臺上。對于導電性差的材料,需要進行表面噴金或通過導電膠粘連樣品表面和樣平臺的手段,*終目的仍然是保證待觀察面的平整和導電。
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