掃描電子顯微鏡SEM簡稱為掃描電鏡，是用細(xì)聚焦的電子束轟擊樣品表面，通過電子與樣品相互作用產(chǎn)生的二次電子、背散射電子等對樣品表面或斷口形貌進(jìn)行觀察和分析?，F(xiàn)在掃描電子顯微鏡都與能譜EDS組合，可以進(jìn)行成分分析。所以，掃描電子顯微鏡也是顯微結(jié)構(gòu)分析的主要儀器，已廣泛用于材料、冶金、礦物、生物學(xué)等領(lǐng)域。

①國產(chǎn)掃描電鏡行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈
掃描電子顯微鏡行業(yè)上游主要包括電子元器件、光學(xué)儀器產(chǎn)品及其他配件。掃描電子顯微鏡主要應(yīng)用于主要用于紡織、化工、印染、儀器儀表、材料分析、教學(xué)科研等許多領(lǐng)域。
②國產(chǎn)SEM掃描電鏡行業(yè)發(fā)展歷程
20世紀(jì)80年代中期到90年代末，是中國自主研發(fā)SEM掃描電鏡的集中期，21世紀(jì)，國外企業(yè)大舉進(jìn)入中國市場，而我國國產(chǎn)掃描電鏡的研發(fā)投人嚴(yán)重不足，中國自主研發(fā)SEM的步伐明顯減緩，與國外的差距越來越大。我國的SEM掃描電鏡無論在數(shù)量還是技術(shù)水平方面都無法與國外的SEM產(chǎn)品相競爭。
隨著國家加大對基礎(chǔ)科研和教育領(lǐng)域的投資力度，許多科研院校迫切需要也有能力更新或新添加大型實驗設(shè)備。但是我國電鏡工業(yè)還沒有形成完整的產(chǎn)業(yè)鏈，缺少上游零部件制造廠家，所以，很多配件不得不從頭研制。
我國改革開放已經(jīng)快四十余年來，GDP多年保持高速增長，已成為世界第ER大經(jīng)濟(jì)體，經(jīng)濟(jì)實力及現(xiàn)代化水平實現(xiàn)了很大的躍升，為掃描電子顯微鏡的快速普及提供了良好的基礎(chǔ)。