掃描電鏡的分辨力要通過(guò)實(shí)驗(yàn)來(lái)檢驗(yàn)，所以任何sem掃描電鏡都有一個(gè)指標(biāo)分辨率來(lái)表現(xiàn)掃描電鏡的性能水平，所謂的接受分辨率一般不會(huì)差于指標(biāo)分辨率。然而，目前sem掃描電鏡的驗(yàn)收分阿辨率還沒(méi)有標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試方法，通常有三種方法：間隙測(cè)量法、有效放大率法和對(duì)比度法。

①間隙測(cè)量法

差距測(cè)量在早期被大量使用，即使現(xiàn)在仍然使用這種方法用于掃描電鏡的驗(yàn)收。此方法是以金粒子的樣本，然后查找金粒子之間的間隙，以測(cè)量能量之間的很小間隙作為分辨率。

②有效放大率法

有效放大率是用電子顯微鏡的分辨率除以0.3 mm 得到的。如果分辨率是1.5 nm，有效放大率是20萬(wàn)倍。當(dāng)使用這種方法測(cè)試分辨率時(shí)，在有效放大倍數(shù)（或稍大倍數(shù)）下拍攝金顆粒照片。

③邊緣對(duì)比度法

隨著對(duì)的寬度變得越來(lái)越窄，成像后，白線(xiàn)區(qū)域的亮度減小，黑色區(qū)域的亮度增加，這意味著圖像中的黑白對(duì)隨著寬度的減小而更接近中間灰色。直到后面一對(duì)非常密集，黑白線(xiàn)是明亮的線(xiàn)是完全不一清二線(xiàn)的。然后在線(xiàn)對(duì)的密度和相應(yīng)的對(duì)比度之間有一條遞減曲線(xiàn)，這是MTF曲線(xiàn)。